什么叫退火爐　　

 

退火爐是在半導(dǎo)體元器件生產(chǎn)制造中應(yīng)用的一種加工工藝，其包含加溫好幾個(gè)半導(dǎo)體材料芯片以危害其電氣性能。熱處理工藝是對(duì)于不一樣的實(shí)際效果而設(shè)計(jì)方案的。廣東海拓覺得，能夠加溫芯片以激話摻雜劑，將薄膜轉(zhuǎn)化成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)化成芯片襯底頁(yè)面，使高密度堆積的薄膜，更改生長(zhǎng)發(fā)育的薄膜的情況，修補(bǔ)引入的損害，挪動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜遷移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)到圓晶襯底。退火爐能夠集成化到別的火爐解決流程中，比如空氣氧化，或是能夠自身解決。退火爐是由專業(yè)為加溫半導(dǎo)體材料芯片而設(shè)計(jì)方案的機(jī)器設(shè)備進(jìn)行的。退火爐是環(huán)保型周期時(shí)間式作業(yè)爐，超環(huán)保節(jié)能構(gòu)造，選用纖維組織，省電60%